電子顯微鏡金相顯微鏡的不同之處

電子顯微鏡金相顯微鏡的不同之處

        掃描電子顯微鏡（SEM），簡稱SEM，是一個復雜的系統(tǒng)；它集中了電子光學技術、真空技術、精細的機械結構和現(xiàn)代計算機控制技術。掃描電鏡是在加速高壓的作用下，通過多級電磁透鏡將電子槍發(fā)射的電子收集成微小的電子束。掃描樣品表面激發(fā)各種信息，通過接收、放大和顯示信息，可以分析樣品表面。入射電子與樣品的相互作用產生了如圖 1 所示的各種信息。這些信息的二維強度分布隨樣品表面的特性而變化（這些特性是表面形貌、成分、晶體取向、電磁特性）等），也就是將各種探測器采集的信息按順序和比例轉換成視頻信號，然后送到同步掃描的顯像管，對其亮度進行調制，得到反映樣品表面狀況的掃描圖像。如果探測器接收到的信號經過數(shù)字化處理，轉換成數(shù)字信號，就可以被計算機進一步處理和存儲。掃描電鏡主要用于觀察高差大、粗糙度大的厚樣品，因此設計突出景深效應，一般用于分析裂縫和自然表面，無需人工處理。
        
        電子顯微鏡和金相顯微鏡
        
        1、光源不同：金相顯微鏡以可見光為光源，掃描電子顯微鏡以電子束為光源進行成像。
        
        2、原理不同：金相顯微鏡利用幾何光學成像原理進行成像，而掃描電鏡利用高能電子束轟擊試樣表面，激發(fā)試樣表面各種物理信號，然后使用不同的信號檢測器來接收物理信號。該信號被轉換為圖像信息。
        
         3、分辨率不同：由于光的干涉和衍射，金相顯微鏡的分辨率只能限制在0.2-0.5um。因為掃描電鏡以電子束為光源，其分辨率可以達到1-3nm之間，所以金相顯微鏡的組織觀察屬于微觀層面的分析，而掃描電鏡的組織觀察屬于到納米級分析。
        
        4、景深不同：一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對試樣的表面光潔度要求*，因此制樣過程相對復雜。掃描電鏡具有大景深、大視場、三維圖像，可直接觀察各種樣品凹凸不平表面的精細結構。