渦流涂鍍層測厚儀工作原理

渦流涂鍍層測厚儀工作原理

        1、基本原理
        渦流鍍層測厚儀的基本工作原理是當探頭與待測樣品接觸時，探頭裝置產生的高頻電磁場使置于探頭下方的金屬導體產生渦流。它的幅度和相位是導體和探頭之間的非導電涂層厚度的函數。即渦流產生的交變電磁場會改變探頭參數，而探頭參數變量的大小，再對這個電信號進行轉換處理，就可以得到被測涂層的厚度。
         2、影響測量精度的原因
        (1)當覆蓋層厚度大于25μm時，誤差與覆蓋層厚度近似成正比；
         (2)母材的電導率對測量有影響，這與母材的材料成分和熱處理方法有關；
         (3)任何一種測厚儀都要求母材有一個臨界厚度，只有大于這個厚度，測量才不會受到母材厚度的影響；
         (4)渦流測厚儀器對圖案測量有邊緣效應，即靠近圖案邊緣或內角的測量不可靠。
         (5) 樣品的曲率對測量有影響，這種影響會隨著曲率半徑的減小而顯著增加；
         (6)母材和覆蓋層的表面粗糙度影響測量精度，粗糙度增大，影響增大；
         (7)渦流測厚儀對阻止探頭與被覆層表面緊密接觸的粘附物質敏感。因此，測量前應清除探頭表面和覆蓋層的污垢；探頭與測試表面保持恒定壓力垂直接觸。